特雷勒堡推出不含氟表面活性劑的半導體密封材料

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特雷勒堡推出不含氟表面活性劑的半導體密封材料

2026年8月17日

RubberWorld

瑞典特雷勒堡——特雷勒堡密封系統公司推出了三種不含氟表面活性劑的半導體製造用材料，因監管機構和製造商日益關注減少全氟及多氟烷基物質（PFAS）的使用。

新材料擴展了特雷勒堡的PureFab系列，包括兩種全氟彈性體（FFKM）：JPF50和JPF58，以及一種氟彈性體：VPF20。該公司表示，這些材料在製造過程中不使用低分子量PFAS氟表面活性劑，旨在幫助客戶應對不斷變化的法規要求，同時保持性能和耐久性。

特雷勒堡半導體全球部門總監Chris Busby表示，這些材料旨在幫助客戶為PFAS法規的變化做好準備，並強化其供應鏈。

JPF50材料是一種高純度FFKM，專為需要純度和耐電漿體性的半導體製程而設計。特雷勒堡表示，該材料在製造過程中不含填料或氟表面活性劑，具有低釋氣和極少的顆粒釋放特性。該材料可在最高300°C（572°F）的溫度下運行，並設計為具有低壓縮永久變形和機械強度。

JPF50適用於沉積製程，如電漿增強化學氣相沉積、高密度電漿化學氣相沉積和電漿增強原子層沉積。它還可用於原子層蝕刻和乾式蝕刻製程，包括腔室蓋板、氣體入口和粘接狹縫閥門密封件。

JPF58是一款FFKM，專為需要在極端溫度下具有長期熱穩定性和純度的應用而設計。據特雷勒堡介紹，它在高達300°C的溫度下能保持密封完整性，並在高機械和熱應力下抵抗開裂。該材料適用於高溫製程，包括...

*Source: Rubber World. For reference only.