Trelleborg ra mắt vật liệu bịt kín không chứa chất hoạt động bề mặt flo cho chất bán dẫn

Newsrss3

Trelleborg ra mắt vật liệu bịt kín không chứa chất hoạt động bề mặt flo cho chất bán dẫn

Ngày 17 tháng 8 năm 2026

RubberWorld

Trelleborg, Thụy Điển – Trelleborg Sealing Solutions đã ra mắt ba vật liệu không chứa chất hoạt động bề mặt flo cho sản xuất chất bán dẫn, trong bối cảnh các cơ quan quản lý và nhà sản xuất ngày càng chú trọng đến việc giảm sử dụng các chất per- và polyfluoroalkyl, hay PFAS.

Các vật liệu mới mở rộng dòng sản phẩm PureFab của Trelleborg và bao gồm hai perfluoroelastomer (FFKM), JPF50 và JPF58, cùng một fluoroelastomer, VPF20. Công ty cho biết các vật liệu này được sản xuất mà không sử dụng chất hoạt động bề mặt flo PFAS trọng lượng phân tử thấp và nhằm giúp khách hàng đáp ứng các yêu cầu quy định đang thay đổi trong khi vẫn duy trì hiệu suất và độ bền.

Chris Busby, giám đốc phân khúc bán dẫn toàn cầu của Trelleborg, cho biết các vật liệu này được thiết kế để giúp khách hàng chuẩn bị cho những thay đổi trong quy định về PFAS và củng cố chuỗi cung ứng của họ.

Vật liệu JPF50 là FFKM có độ tinh khiết cao được thiết kế cho các quy trình bán dẫn đòi hỏi độ tinh khiết và khả năng chống plasma. Trelleborg cho biết vật liệu này được sản xuất không có chất độn hoặc chất hoạt động bề mặt flo, mang lại độ thoát khí thấp và lượng phát thải hạt tối thiểu. Vật liệu có thể hoạt động ở nhiệt độ lên tới 300 độ C, tương đương 572 độ F, và được thiết kế để mang lại độ biến dạng nén thấp và độ bền cơ học.

JPF50 dành cho các quy trình lắng đọng như lắng đọng hơi hóa học tăng cường plasma, lắng đọng hơi hóa học plasma mật độ cao và lắng đọng lớp nguyên tử tăng cường plasma. Nó cũng có thể được sử dụng trong các quy trình khắc lớp nguyên tử và khắc khô, bao gồm nắp buồng, cửa dẫn khí và đệm cửa van khe liên kết.

JPF58 là FFKM được thiết kế cho các ứng dụng đòi hỏi độ ổn định nhiệt dài hạn và độ tinh khiết ở nhiệt độ khắc nghiệt. Theo Trelleborg, nó duy trì tính toàn vẹn của con dấu ở nhiệt độ lên tới 300°C và chống nứt dưới áp lực cơ học và nhiệt cao. Vật liệu này dành cho các quy trình nhiệt độ cao, bao gồm...

*Source: Rubber World. For reference only.