Trelleborg выпускает уплотнительные материалы без фторсодержащих ПАВ для полупроводников

Newsrss3

Trelleborg выпускает уплотнительные материалы без фторсодержащих ПАВ для полупроводников

17 августа 2026 г.

RubberWorld

Треллеборг, Швеция – Компания Trelleborg Sealing Solutions выпустила три материала без фторсодержащих ПАВ для производства полупроводников, поскольку регулирующие органы и производители все больше внимания уделяют сокращению использования пер- и полифторалкильных веществ (ПФАС).

Новые материалы расширяют линейку PureFab компании Trelleborg и включают два перфторэластомера (FFKM) – JPF50 и JPF58 – и один фторэластомер – VPF20. Компания заявила, что материалы изготовлены без низкомолекулярных фторсодержащих ПАВ на основе ПФАС и предназначены для того, чтобы помочь клиентам соблюдать меняющиеся нормативные требования, сохраняя при этом производительность и долговечность.

Крис Басби, глобальный директор сегмента полупроводников Trelleborg, заявил, что материалы разработаны для того, чтобы помочь клиентам подготовиться к изменениям в регулировании ПФАС и укрепить свои цепочки поставок.

Материал JPF50 представляет собой высокочистый FFKM, разработанный для полупроводниковых процессов, требующих чистоты и стойкости к плазме. Trelleborg сообщила, что он изготавливается без наполнителей и фторсодержащих ПАВ, обеспечивает низкое газовыделение и минимальные выбросы частиц. Материал может работать при температурах до 300 градусов Цельсия (572 градуса по Фаренгейту) и обеспечивает низкую остаточную деформацию при сжатии и механическую прочность.

JPF50 предназначен для процессов осаждения, таких как плазмохимическое осаждение из газовой фазы, осаждение из газовой фазы с плазмой высокой плотности и атомно-слоевое осаждение с плазменным усилением. Его также можно использовать в процессах атомно-слоевого травления и сухого травления, включая крышки камер, газовые входы и склеенные уплотнения слотовых клапанных дверей.

JPF58 – это FFKM, разработанный для применений, требующих долгосрочной термической стабильности и чистоты при экстремальных температурах. По данным Trelleborg, он сохраняет герметичность при температурах до 300 °C и устойчив к растрескиванию при высоких механических и термических нагрузках. Материал предназначен для высокотемпературных процессов, включая...

*Source: Rubber World. For reference only.